在開始無塵室清潔之前，首先必須明確以下幾點：
1、無塵室的規格？
2、一次性清潔是指天地壁全清嗎？
3、工具設備由業主或清潔公司處理？
無塵室的標準一般以粒徑0.5 µm塵量（PARTICLE）作為界定標準。
1K 即代表每1立方英尺的0.5 µm 塵量限制不能超過1000顆；10K 代表塵量限制不能超過10000顆，以此類推。
無塵室等級數字愈低，代表等級愈高，如1000無塵室比10000無塵室高很多。
而根據等級、建材差異，清潔方式也不盡相同。
地板清洗方面，10K以下無塵室有靜電地板清洗打臘的問題，10K以上無塵室有高架地板清潔的問題；牆面有庫板及玻璃清潔的問題；天花板有些是金屬庫板，有些只是無塵室專用的礦纖板。這些都是會造成清洗方式差異的問題，需要仔細釐清。
清潔公司接了電子工廠無塵室，最好能好好研究無塵室內四大關鍵中的二項：溫度、濕度、塵量、靜電，清潔公司若能有效控控制好「塵量」及「靜電阻抗」問題，相信你的客戶不會把你換掉。
要清潔無塵室，工法很重要。
以1K無塵室為例，可能必須掀開高架地板清潔、吸塵下方地板及支架，再將導電地板覆蓋回去，使工作量增加。而牆壁部份不論庫板或玻璃，都建議像洗玻璃的方式作業，快又乾淨。天花板的燈座及HEPA或回風設備都要先吸塵，再連天花板使用無塵布加異丙醇擦拭過。
此外徹底吸塵是最重要的工作，可以防止清潔動作造成灰塵微漂浮在空中，或將灰塵推入死角，亦可防止使用過多的清潔劑流入設備死角，造成清不到的髒垢。
天花板上方有高效過濾設備，地板下方還有吸風設備，整體都看不到灰塵，所以忽略了角落、設備下、玻璃或庫板接合處、天花板骨架等，以上這些地方都會因為沒吸塵直接擦拭而造成灰塵漂浮。
所以有很多清潔公司清潔完的無塵室在三天內的塵量都超標，甚至造成產線停工，有絕大原因就是沒有徹底吸塵後再使用擦拭或一些標準化的清洗動作。